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精拋材料
產品介紹:
白墊,具有高移除率、高平坦性、低缺陷性與高性價比等優勢。因具有特殊之微孔結構,對研磨液具備良好之保持性,同時因研磨墊具有適度之剛性,加上良好之研磨再現性,可提升制程之穩定性與尺寸精密度。產品具有:效率高,無劃傷,使用壽命長,彈性好,力道柔和等特點。產品拋光后表面得到一個非常光滑、整齊的效果。拋光墊表面可以開各種槽形,槽可幫助拋光液流動并帶走切削 的細流。
產品應用:
適用于半導體、光學元件、晶體及金屬和玻璃材料的終道拋光,也可用來拋光特殊材質,諸如硅、鍺、硒脂鋅、砷化鎵、合金鋼、陶瓷、塑料(丙烯酸玻璃)等。
產品參數
品名 |
型號 |
厚度 (mm) |
硬度 (o) |
壓縮率 (%) |
用途 |
白墊系列 |
BD-400 |
1.3±0.1 |
65±5 |
7±1 |
粗拋以及精密拋光 |
BD-600 |
1.3±0.1 |
80±5 |
3±1 |
粗拋以及精密拋光 |
|
BD-800 |
1.3±0.1 |
85±5 |
3±1 |
粗拋以及精密拋光 |